青島芯笙高精度氣體流量測控技術(shù)驅(qū)動CVD及硅碳負極材料升級
在光伏與新能源材料產(chǎn)業(yè)技術(shù)升級浪潮中，青島芯笙微納電子科技有限公司憑借自主研發(fā)的S300系列氣體質(zhì)量流量計及配套解決方案，持續(xù)為化學(xué)氣相沉積（CVD）、硅碳復(fù)合材料制備、鋰電負極材料合成等關(guān)鍵工藝提供高可靠性氣體測控支持。通過核心技術(shù)自主化與工藝場景深度適配，已助力多家行業(yè)客戶實現(xiàn)產(chǎn)線良率提升與綜合成本優(yōu)化。
一、CVD硅碳負極制備核心設(shè)備的氣體控制突破
在硅碳負極主流制備工藝中，芯笙微納針對回轉(zhuǎn)爐與流化床兩類核心設(shè)備開發(fā)專項解決方案：
1.回轉(zhuǎn)爐氣體環(huán)境精密調(diào)控
在連續(xù)式回轉(zhuǎn)爐硅碳沉積工藝中，S300系列通過以下創(chuàng)新保障硅烷（SiH?）、乙炔（C?H?）、氮氣（N?）的精準配比：
- 多氣體兼容性：流道表面經(jīng)碳化硅涂層處理，耐受硅烷腐蝕性分解產(chǎn)物
- 動態(tài)響應(yīng)優(yōu)化：1秒內(nèi)階躍響應(yīng)速度匹配回轉(zhuǎn)爐周期性翻轉(zhuǎn)工況
- 安全聯(lián)鎖機制：與爐內(nèi)壓力傳感器聯(lián)動，硅烷濃度超限時自動切斷供氣
2.流化床工藝氣體穩(wěn)定輸送
針對流化床中氣固兩相流擾動難題，S300+P300壓力控制器系統(tǒng)實現(xiàn)三重保障：
- 壓力補償控制：P300實時調(diào)整供氣壓力，抵消流化床壓差波動（最小控制精度±0.24kPa）
- 乙炔安全控制：通過本安CT4防爆認證，在乙炔-氮氣混合氣體中連續(xù)運行超8000小時
二、關(guān)鍵反應(yīng)氣體的精準流量控制
針對硅碳負極制備中高風(fēng)險工藝氣體的特殊需求，青島芯笙微納建立專項技術(shù)壁壘：
硅烷（SiH?）控制
- 泄漏防護：全金屬密封結(jié)構(gòu)+氦質(zhì)譜檢漏工藝，泄漏率＜1×10 -12 Pa·m3/s He
- 快速截止：配備氣動切斷閥，響應(yīng)時間＜50ms
乙炔（C?H?）控制
- 防爆設(shè)計：通過本安CT4防爆認證
- 流量控制穩(wěn)定性：S300系列，重復(fù)精度≤±0.2%F.S.
氮氣（N?）載氣控制
- 大流量精度：S300系列MFC支持300SLM流量控制，精度±0.3%F.S.或1%S.P.
- 通訊協(xié)議：支持EtherCAT、Profibus、RS485等多種通訊
三、技術(shù)延伸與服務(wù)支撐
青島芯笙微納同步構(gòu)建全流程服務(wù)體系：
- 氣體適配性測試：開放青島中心實驗室提供硅烷/乙炔專項測試
- 舊設(shè)備改造方案：存量進口MFC替換周期縮短至7個工作日
- 應(yīng)急響應(yīng)機制：華東、華北、西南、華南區(qū)域4小時內(nèi)技術(shù)工程師到場支持
四、行業(yè)技術(shù)交流
4月25日-27日，芯笙微納將深度參與青島CVD硅碳負極材料技術(shù)大會（展位A04），構(gòu)建“技術(shù)研討-案例解析-產(chǎn)線實踐”三維交流平臺：
工藝氣體控制專題研討會（4月26日9:00）
- 特邀清華大學(xué)、中南大學(xué)、廈門大學(xué)、中科院、北京航空航天大學(xué)、哈工大等高校教授及硅碳負極材料產(chǎn)業(yè)鏈專家學(xué)者、企業(yè)及技術(shù)人員，共同探討氣相沉積硅基負極技術(shù)的發(fā)展現(xiàn)狀、挑戰(zhàn)與未來前景。
- 芯笙微納首席科學(xué)家陶博士發(fā)布《針對硅碳負極材料的先進氣體測控技術(shù)研究》
青島芯笙產(chǎn)研基地開放日（4月26日-27日 全天）
- 參觀半導(dǎo)體級潔凈車間：S300系列全自動標定生產(chǎn)線。
- 材料沉積案例深度溝通：參與產(chǎn)線實踐班的企業(yè)享年度優(yōu)先技術(shù)服務(wù)配額。
